产品详细信息 更多+
  • 金属密封热式质量流量控制器和仪表
详细介绍
全能 MFC
型号 GF125 / GF126

GF125 系列产品是第二代多变量压力变化补偿型 (PTI) 金属密封质量流量控制器和仪表,有着超快的响应速度和超高的纯度。作为第一个将 PTI 质量流量控制技术引入市场的 GF125 系列产品最大限度降低了压力和温度波动导致的过程气体流量变化。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求,无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。

结果:降低了气体显示屏尺寸和成本,这得益于省去了压力调节器、压力传感器和相关硬件的使用并辅以行业最佳的 PTI 性能以最大限度提高产率和生产效率。


概述

特点

  • 长期零点稳定性,每年变动小于满量程的 ± 0.5%ar
  • 稳定时间极短:300 ms - <700 ms
  • 满量程流速高达 300 slpm
  • 超高纯度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面处理
  • 符合 SEMI F20 标准的接液材料
  • 采用高速 ARM 处理器的耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器
  • 可进行快速反应的无隔膜阀组件不受压差影响,并且测试表明产品经七百万次循环无故障
  • MultiFlo™ 技术拥有无与伦比的灵活性 — 一台设备经编程设定后即可满足数千种不同气体和流量测量范围配置的需求,无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
  • 本地显示屏可指示流量、温度、压力和网络地址以便于轻松解决供气和隔离阀故障问题
  • DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口

优势

  • GF125 系列产品通过将布鲁克斯仪器的流量传感器专利技术与能够进行快速反应的无隔膜阀组件相结合,可将响应速度和稳定速度较之其他质量流量控制器提高 3 倍。
  • 经优化的接液流路,可提升干燥效果
  • MultiFloTM 技术可实现 MFC 流量测定量程的重新设定,通常是按 3:1 下调并且不影响精度,量程比或内漏率,以提供最佳的工艺和库存灵活性
  • 全面的气体数据库为您提供最广泛的气体保护信息
  • 压力变化补偿 (PTI) 功能能够克服传统 MFC 的限制(受进气压力波动影响明显)。产品效果表明其性能稳定并且可达到预期精度。
  • 便捷的用户显示屏和独立的诊断/维护端口有助于设备安装、监测和故障排除

关键应用

  • 半导体
  • MOCVD(金属有机化学气相沉积)
  • 要求使用高纯度全金属流路的气体流量控制应用

  

便捷的维护端口

  • 轻松进行诊断和故障排除
  • 不影响工具通信

用户界面

  • 轻松安装、启动和操作

机械耦合阀

  • 耐腐蚀全金属阀
  • 采用无隔膜设计并且不受压差影响
  • 高速吹扫功能
  • 测试表明产品经四百万次循环无故障

压力传感器

  • 不受输送压力扰动或波动影响的稳定流量控制

第二代温升传感器

  • 出色的长期稳定性(<+0.5% F.S/年)
  • 提高了信噪比
  • 高速吹扫功能
  • 可在较低温度下工作,适用于易发生热分解的气体

温度传感器

  • 可在全温度范围内进行准确的流量和温度测量
  • 实时补偿环境温度波动,实现准确的气体化学控制



型号



GF125GF126
区别

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

High Flow Rate

流量范围-满量程容量3 sccm - 55 slm

55 slm - 300 slm

表面抛光4µ inch Ra4µ inch Ra
精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F.S. 2-35%

重复性< ±0.15% S.P.< ±0.15% S.P.
响应时间-常闭

Normally Closed Valve

300ms (3-860 sccm N2 Eq.)

400ms (861-7200 sccm N2 Eq.)

500ms (7201-30000 sccm N2 Eq.)

<700ms (30001-55000 sccm N2 Eq.)

 

Normally Closed Valve

<1 sec

 

响应时间-常开

Normally Open Valve

<1.5 sec

Normally Open Valve

多气体多量程MultiFlo™ StandardMultiFlo™ Standard
瞬时压力波动不敏感

±5% S.P. up to 5 psi/sec upstream press. spike

Ability to measure inlet pressure

诊断能力

Status Lights - MFC Health, Network Status

Alarms - Control Valve Output, Network Interruption

Status Lights: MFC Health & Network Status

Alarms: Control Valve Output & Network Interruption

模拟通讯

0-5 Vdc

0-5 Vdc

数字通讯

RS485 L Protocol

DeviceNet™

RS485 L Protocol

DeviceNet™

 


规格



产品类型

Mass Flow Controller

区别

Ultra-High Purity

Ultra-Fast Response Time

Pressure Transient Insensitivity

性能
流量范围-满量程容量

3 sccm - 300 slm

精度

±1% S.P. > 35-100%

±0.35% F. S. 2-35%

重复性
< ±0.15% S.P.
线性

±0.5% F.S. (included in accuracy)

响应时间-常闭

300ms - < 1 sec

响应时间-常开

Normally Open Valve: <1.5 sec

(specific models only)

多气体多量程
MultiFlo™ Standard (most models)
瞬时压力波动不敏感

<5% S.P. for up to 5 psi/sec upstream press. spike

控制范围

< 5 - 100%

Bin的数量

Standard GF Series: 11 bins

High Flow GF Series: 4 bins

阀门关闭

< 2% F.S.

零点稳定性
< ±0.5% F.S. per year
温度系数

Span: 0.05% S.P. per °C

Zero: 0.005% F.S. per °C

机械
密封材料

Metal

纯净等级
4 - 5µ inch Ra
接液材料

SEMI F20 HP Compliant

316L VIM/VAR

Hastelloy C-22

316L Stainless Steel

304 Stainless Steel

KM-45

阀门

Normally Closed

Normally Open (specific models)

Meter (no valve)

等级
最大温度
50oC
压差范围

3-860 sccm = 7-45 psid

861 - 7200 sccm = 10 - 45 psid

7201 - 55000 sccm = 15 - 45 psid

51 - 300 slm = 30 - 90 psid

*Typical pressure drops. Contacts Brooks Technical Support for more information.

最大压力

Standard GF Series: 100 psia max

High Flow GF Series: 75 psig (controller), 150 psig (meter)

漏率
1x10-10 atm cc/sec He
诊断和显示
诊断能力
Available

状态灯

MFC Health

Network Status

报警

Control Valve Output

Network Interruption

诊断/服务端口

RS485 via 2.5mm jack (all models)

显示

Top Mount Integrated LCD

Viewing Angle: Fixed

Viewing Distance: 10 feet

Units Displayed: Flow (%), Temp (°C), Pressure (psia, kPa)

Resolution: 0.1 (unit)

电气
模拟通讯

0-5 Vdc

数字通讯

DeviceNet™

RS485 L-Protocol

电气连接

Analog/RS485 via 9-Pin "D" connector

DeviceNet™ via 5-Pin "M12" connector

Various cable adaptors available. See product data sheet for more information.

电源-功耗

Analog/RS485 L Protocol: 6 Watts max @ ±15 Vdc (±10%) or +24 Vdc (±10%)

DeviceNet™: 545 mA max @ +11-25 Vdc, 250 mA max @ 24 Vdc

(Under typical operating conditions)

承诺
电磁兼容性

EC Directive 2004/108/EC

CE: EN61326-1: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing)

符合环保要求

RoHS Directive (2011/65/EU)

REACH Directive EC 1907/2006







































































文档


FilenameFile TypeDocuments By Language
Data Sheet - GF125pdfEnglish Japanese
Data Sheet - GF126pdfEnglish
Installation & Operation ManualpdfEnglish
DeviceNet™ Supplemental Manual - GF100 SeriespdfEnglish
RS485 L-Protocol Supplemental Manual - GF100 SeriespdfEnglish



CAD Drawings


Use the following guide (model code information from data sheet) to translate the CAD configurations available below. If you need assistance or can’t find what you’re looking for, please contact Applications Engineering or your local Brooks Instrument representative.

Example: GF125 - WX (Fitting) - GX (Connector) - STEP

Model Series
FittingConnectorFile Type
 GF1xxAS - 1-1/2” body width, 92 mm 0.440” large bore C Seal (only for bins SH45-SH50)BX - Cable adapter to 15 pin D Brooks (Unit “B”,”N”) adapts G1 base STEP

CX - 1-1/8” body width, 92 mm C Seal
*DX - DeviceNet™ 5 pin micro

VX - 1-1/2” body width, 124mm 1/4” VCR maleEX - Cable adapter to Card Edge (w/o VTP), RS485 through RJ11 jacks (Unit”E”; IN “L”, “R”) adapts GX base

WX - 1-1/8” body width, 92mm W SealGX - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”); display and overlay 180 degree orientation


G1 - 9-Pin D with RS485 (Unit”G”)


SX - 9 pin D with STEC pin-out (w/VTP) (Unit”S”,”Q”)


附件和软件

0250 读数应用
Controls and powers up to 4 devices
MultiFlo™ 配置器
A comprehensive gas database enabling you to configure your MultiFlo™ capable MFC for thousands of gas types and ranges without removing it from the gas line.




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