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  • Aera FC-7800质量流量控制器
详细介绍

产品介绍



模拟金属密封;
流量范围:10 sccm-5 slm;
精度:≤±1% FS ;
最大进气压力:140 psi(981 kPa)
美国Aera FC-7700系列质量流量计

优点:
高性价比
响应速度快:小于2秒
无与伦比的可靠性:使用一年以上,零点漂移小于满量程的0.5%
易于集成:标准接头和尺寸
出众的效果:高品质膜层与蚀刻特性
 
特性
非金属密封
VCR连接
量程范围从10SCCM到150SLM
常闭或常开式电磁阀
允许最大清洗流量:高达最大校准值的100倍
漏率1×10-6 atm-cc/秒(氦)
 
FC-7700气体质量流量计的详细资料:
Adcanced Energy 的Aera FC-7700系列产品是实践验证的适用多种应用的场合的标准产品,该流量计采用非金属密封,流量控制精确,性价比高。该产品专为从业于半导体、平板显示、数据存储、工业真空和工业镀膜市场的工艺和设备工程师设计,同时,该系列产品在CVD、PVD、蚀刻、离子注入、溅射、热氧化、光学玻璃镀膜、光纤、表面处理以及其它镀膜工艺等腐蚀性气体应用领域表现出良好的可靠性和优异的性能。
性价比高:
FC-7700系列产品专为那些要求顶极性能,但不要求具有耐腐蚀性或超高漏率要求的应用而定制,不仅性价比好,而且控制精度非常高。
响应速度快:
FC-7700系列产品采用最新技术设计,工作性能远远优于同类质量流量控制器MFC.其先进之处包括:采用了一种敏感性强、响应速度快的小直径传感器。另外,与采用低速热敏阀的同类产品相比,FC-7700系列产品采用常开或常闭式电磁阀,具有较快的响应速度。提高响应速度之后,避免了出现过冲,达到设定点的时间不到2秒--在所有带标准电磁阀的质量流量控制器产品中是最快的。
无与伦比的可靠性:
由高质量的电子组件和采用耐用、最少元器件的设计理念,这使它可以经受强射频场的干扰,满足其它运转要求,并具有同类产品中最佳的零点漂移稳定性--使用超过一年,零点漂移不到满量程的0.5%。在投入使用的25,000件以上产品中,仅有不到0.5%的产品在出货一年内返修。
易于集成:
替换其它品牌,即可轻松获得Area质量流量控制器所具有的性能和可靠性方面的优势,且不会遇到安装方面的麻烦。特定型号的产品带有标准电气接头并具有临界尺寸,可轻松装入现有的系统。
出众的效果:
FC-7700系列质量流量控制器带给您的不仅仅是薄膜和刻蚀工艺的一致性,同时还有高度的可重复性。
型号参数:

 

 

类别FC-7700、7700C、7700CD、7700CUFC-7710、7710C、7710CD、7710CUFC-7720、7720C、7720CD
满量程范围10sccm到5slm6到20slm35到150slm
20到50slm
响应时间到达设定点±2%所需时间<2秒到达设定点±2%所需时间<3秒
精度满量程±1%范围内满量程±2%范围内
线性度满量程±0.5%范围内满量程±0.5%范围内满量程±1%范围内
满量程±1%范围内
重复精度满量程±0.2%范围内
漏率最大值1×10-6 atm-cc/秒(氦)
控制范围满量程的5到100%
压差7至40 psi10至40 psi(517至2069托)21至40 psi(1086至2069托)
(362至2069托)14至40 psi(724至2069托)
正常工作压力50 psi(2586托)
最大入口压力最大值150 psi(7740托)
温度范围5至45℃
 注:可根据不同客户的需求,选择全金属密封的FC-7800CD系列,数字型的FC-D770系列,全金属密封及数字型的FC-D980系列。
 
FC-7800_模拟金属密封质量流量控制器
模拟金属密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% FS ; 最大进气压力:140 psi(981 kPa)
 
FC-D980_数字式金属密封质量流量控制器
数字式金属密封; 流量范围:10 sccm-5 slm; 精度:≤±1% of set point(25%-100% FS);≤±0.25% FS (2%-25% FS); 最大工作压力:70 psig(490 kPag)


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